ИОФ РАН
29.06.2022
Семинар отдела инфракрасной техники ИОФ РАН
5 июля 2022 г., 14:00, ИОФ РАН, 1-й корпус, 3-й этаж, к. 301
Повестка дня:
1. Предзащита диссертации на соискание учёной степени кандидата технических наук младшего научного сотрудника отдела инфракрасной техники ИОФ РАН Чижа Кирилла Всеволодовича.
Тема диссертации: Разработка методов изготовления структур с барьерами Шоттки PtSi/поли-Si для болометрических ИК приемников и исследование процессов формирования силицидов платины на поликристаллическом кремнии.
Специальность 05.27.06 - технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники.
Научный руководитель к.ф.-м.н. Юрьев Владимир Артурович.
Тема диссертации: Разработка методов изготовления структур с барьерами Шоттки PtSi/поли-Si для болометрических ИК приемников и исследование процессов формирования силицидов платины на поликристаллическом кремнии.
Специальность 05.27.06 - технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники.
Научный руководитель к.ф.-м.н. Юрьев Владимир Артурович.