по специальности 05.27.06 – "технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники".
Работа выполнена в лаборатории прикладной ИК спектроскопии Тарусского филиала Института общей физики им. А.М. Прохорова РАН.
Научный руководитель:
• д.ф.-м.н., проф. Казарян Мишик Айразатович
Официальные оппоненты:
• д.т.н., заведующий кафедрой физики
Родэ Сергей Витальевич, Московский государственный университет дизайна и технологии;
• д.х.н., в.н.с.
Булычев Николай Алексеевич Физический институт им. П.Н. Лебедева РАН.
Ведущая организация: ОАО "ВНИИ химической технологии", г. Москва.
Телефон для справок: +7 8 499 503-8394
Сайт ИОФ РАН www.gpi.ru