по специальности 05.27.06 – "технология и оборудование для производства полупроводников и материалов электронной техники".
Работа выполнена в Федеральном государственном бюджетном учреждении науки Институте общей физики им. А.М. Прохорова Российской академии наук.
Научный руководитель: • доктор физико-математических наук, профессор Денкер Борис Ильич
Официальные оппоненты:
• чл.-корр. РАН, д.х.н. профессор ИХВВ РАН г. Н.Новгород, зав. лаб.
Гурьянов Алексей Николаевич;
• д.ф.-м.н
Кустов Евгений Федорович,
Национальный исследовательский университет "МЭИ" г. Москва,
профессор кафедры "Физики электроматериалов".
Ведущая организация: Научный центр волоконной оптики РАН.